一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201320591835.X （22）申请日 2013.09.25

（71）申请人 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

地址 518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷D栋

（10）申请公布号 CN203639603U

（43）申请公布日 2014.06.11

（72）发明人 常红旺

（74）专利代理机构 深圳市康弘知识产权代理有限公司

代理人 胡朝阳

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构

（57）摘要

本实用新型提出的一种MOCVD石墨盘与反

应室的连接结构，将反应室的旋转轴顶部改进为锥形结构，在石墨盘的底部设置一连接件，连接件上开设与旋转轴顶部形状相匹配的锥形通孔，从而使得石墨盘与旋转轴之间可以通过锥形结构精确定位，并且由于设置了连接件，可以很好地降低石墨盘的磨损，减少生产耗材。

法律状态

法律状态公告日

2014-06-11

授权

法律状态信息

授权

法律状态

权利要求说明书

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