蒸发舟的操作
1( 新蒸发舟使用时～通过屏幕操作控制准确时间～逐渐将电压提升～ 每次提升持续5分钟～然后再次提升,例如7v-8v-9v,。或按镀 铝机设定的程序启动。逐渐升压加热蒸发舟进行退火～以便释放 内部应力～同时舟材料内部吸收的气体也被释放出去。铝丝与蒸 发舟相融～约需20分钟使其润湿。润湿太快将降低蒸镀气体的稳 定性～并大大地缩短蒸发舟的使用寿命。
2( 操作时间越长～蒸发舟越热。必须保持电压持续下降,视飞溅现 象而定,。电压下降同时～注意减少铝丝的进给量。连续生产时～ 第一卷膜蒸镀结束时的蒸发舟电压比蒸镀开始蒸发舟启动时的电 压要低些。高阻值蒸发舟,650MOC,下调电压所需时间比低阻值 的蒸发舟要长些。几乎所有物质的电阻都会随温度的变化而变化～ 0通常情况下～温度升高其阻值也增大。1500C时的高温电阻率是 蒸发舟设计时使用和定型的电阻率～它和蒸发电源相匹配的。,高 温电阻率是室温电阻率的若干倍,
3( 蒸发舟第一次使用后用刷子轻轻清刷舟槽表面的铝渣～以后每次 使用都要用钢丝刷清刷。每次清刷工作完毕～要检查蒸发舟～以确保它被夹紧。否则启动时会跳动。
4. 当启动蒸发舟～但其中有一个没有点着～不要继续送铝丝产生弧 光直到点燃。应该先调整铝丝向前靠近蒸发舟～然后再启动蒸发 舟～使它点燃。否则不仅会破坏夹具～而且会毁坏蒸发舟和缩短 蒸发舟的寿命。
5. 具有最大的铝附着面的蒸发舟～其蒸发范围更宽～蒸镀层易控制～
并且持续蒸发的时间最长。
蒸发温度太高～蒸发率会增加～但蒸发模式更垂直地向薄膜方向 0蒸镀。,蒸发温度每增高75C～铝的蒸发率会增加约一倍, 蒸发舟的工作温度升高时～所利用舟槽的面积会变小～而且当温 度升高时～陶瓷材料的腐蚀速度也会成倍的增加～蒸发角度的变 小又会使镀膜的横向均匀度变差。,引起蒸镀黑色条纹, 蒸发质量的好坏和蒸发舟寿命的长短～直接体现操作者控制蒸发 舟温度和铝面附着面积的能力。蒸发舟第一次润湿时～铝在舟上 形成的接触面处理是至关重要的。蒸发舟所能达到的寿命取决于 第一次运行期间铝的熔化层在舟上所形成的表面区域的大小。,液 铝覆盖区域减少时～被减少的液铝区域～会覆有一层铝渣～一旦 生成这种铝渣后～就需要更高的舟温来维持原来的蒸发送丝速率～ 从而缩短了蒸发舟的寿命,
操作者通过努力最大限度的降低蒸发舟温度～,蒸发舟的颜色应该 1
是亮橙色的白色意味着温度太高～红色意味着温度太低。,以及 每卷蒸镀完成后的清洁步骤～尽可能小心地增大液铝覆盖接触表 面。
26.在镀包装膜时～铝丝的一般蒸发速率为0.3gms/cm/min～能使镀膜速 度、蒸发舟的寿命和横向均匀度达到很好的平衡。在这个速率下～舟 2 槽的面积为25-30 cm,蒸发舟加热功率为85%,～可达6.6 gms/ min 0的蒸发量～蒸发舟的工作温度约为1535C～寿命为15-20小时。 7.蒸发舟的寿命直接受工作环境温度的影响。
蒸发舟由2到3种陶瓷粉压制而成～由硼化钛,TiB,导电粉和绝2
缘的氮化硼,BN,粉混合在一起～氮化铝,ALN,有时也作为一种 组分以增加陶瓷的抗弯强度和对铝的润湿性。蒸发舟使用时～铝会 在硼化钛,TiB,分子间渗透舟的表面～并和氮化硼,BN,反应生2 成ALN和B～B继续和AL反应生成ALB～同样氧化铝,ALO,由1223 铝丝表面进入舟槽表面～和BN及B反应生成BO～和ALN。硼化钛23 ,TiB,和氮化铝,ALN,都会在标准的汽化温度下生成气态化合2 物逸出～氮化硼,BN,减少～此物质决定了蒸发舟的寿命。温度越 高～氮化硼,BN,减少越快～蒸发舟的寿命越短。 蒸发舟的安装
1. 蒸发舟的两头的舟夹夹紧部分的长度应该保持一致～并保证好的电气和机 械接触～以免在舟夹上产生额外的热量。确保舟的两侧温度的一致～防止 舟弯曲。将蒸发舟嵌入石墨片和舟夹～如果压力过大会引起裂舟。新舟第一次使用时如果安装得太松或太紧都不好～应看一下舟夹的说明书。操作人员应对蒸发舟的机械加工公差十分注意,舟的长度、宽度以及平行度都是非常重要的。,使用石墨片来排除舟与舟夹之间的间隙～改善它们的接触。舟两端与舟夹之间要具有足够的压力～同时还要保证舟在加热时能够膨胀伸缩。夹具活动的一侧应将氧化铝清除。
2. 装舟时可保持一定的倾斜度～,送铝丝端略高,有利于液铝流动 到舟的末端。这对于增加液铝铺展面积、提高蒸发舟的寿命和提高
镀膜的均匀度是重要的。蒸发舟在横向应保持在水平面上。 3. 实际镀膜时～应将铝丝送到舟的—1/31/2位臵～操作人员要考虑到舟温度高时铝丝会下垂的因素。同时也要将铝丝送到舟槽的中心线位臵。 4. 避免接触舟槽的表面～以免弄脏～这会降低舟槽表面对液铝的润
湿性。
蒸发舟的操作
