硅基压电MEMS球形矢量水听器设计

硅基压电MEMS球形矢量水听器设计

李芬; 石树正; 杨翔宇; 何剑

【期刊名称】《传感器与微系统》 【年(卷),期】2020(039)003

【摘要】为实现水听器体积微型化,提高其固有频率并保证灵敏度,提出了一种新型无源器件,即基于压电效应的微机电系统(MEMS)一维球形矢量水听器.使用COMSOL软件进行仿真设计,确定器件关键尺寸.采用MEMS工艺加工制得器件并进行测试,结果表明:该水听器灵敏度达到-205 dB(0 dB =1 V/μPa),固有频率可达到1.6 kHz,具有良好的一维指向性. 【总页数】3页(84-86)

【关键词】微机电系统(MEMS); 压电效应; 矢量水听器; 灵敏度 【作者】李芬; 石树正; 杨翔宇; 何剑

【作者单位】中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 山西太原030051; 河北建筑工程学院机械工程学院 河北张家口075000 【正文语种】中文

【中图分类】TP212; TB565.1; TH703 【相关文献】

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3.MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展 [J], 李俊红; 马军; 魏建辉; 任伟 4.MEMS压电矢量水听器的设计 [C], 吕宁; 李俊红; 刘梦伟; 汪承灏